氣瓶泄漏防護裝置

在制造微電子元件、光學(xué)元件、分析儀器和其他專(zhuān)用提備的作多工藝步驟中都會(huì )用到 反應氣體．其中許多反應性氣體對工人的危將極大，其生產(chǎn)、儲存、運輸和最終使用都必須遵守嚴格的安全程序· 這些氣體以壓縮氣體或加壓飽和液體的形式在常溫下用鋼瓶每個(gè)儲氣罐部有一個(gè)或多個(gè)出口，這些出口通常都有螺，紋，用于安裝流體配件，如截止閥、角閥等他連接件。泄漏可能發(fā)生在流體配件如O型密封圈，螺紋連接處，在許多情況下，這些泄漏都很小，（小于或等于50SCCM）但是即使小泄漏也會(huì )造成危險，并可能發(fā)展成較大的、潛在的災難性泄漏。柔性樹(shù)脂式卡箍式密封是不是可以